《ESG Weekly》：半导体设备行业的环保合规与有害于人体健康的物质减排策略

　　根据SEMI报告，在产能扩张、新晶圆厂项目和前端和后端对先进的技术和解决方案的高需求的推动下，2025年全球半导体设备总销售额预计将达到 1240 亿美元的新高。尤其是中国，在去年全球半导体销售额微降的大背景下，中国大陆地区半导体设备销售额仍实现了同比28.3%的增长。随着AI GPU需求的激增，国内还有望新增超600亿元的先进封装设备市场。

　　日渐庞大的市场也提出了新的发展要求。除了要逐步提升国内半导体设备设计制造能力，以保障产业链供应链的安全稳定外，半导体设备行业的绿色化发展，其优先级也在不断提升。

　　半导体制造中涉及大量化学品，其中，有一种叫PFAS的原料，使用量巨大且仍难以替代，比如，含有PFAS成分的冷却剂在半导体干法蚀刻设备温度控制中必不可少；另据《关于半导体行业中PFAS应用白皮书》，半导体供应链（包括制造芯片所需的复杂工具）、晶圆厂的众多工艺步骤以及组装和封装工艺中的数千种基本应用都使用了各种 PFAS。

　　但PFAS同时也是一种臭名昭著的有毒物质，其持久性、远距离迁移性和生物积累性，进一步加深了其对环境和人体会造成的巨大危害。美国毒物与疾病登记署此前发布的一项报告数据显示，PFAS一旦进入体内，就会干扰荷尔蒙和其它基本身体机能。长期接触PFAS，即使是低水平，也可能会引发严重健康问题，包括癌症、不孕不育、先天缺陷、免疫系统紊乱等。

　　《半导体和其他电子科技类产品制造业 EHS 指南》显示，半导体及其他电子科技类产品生产项目涉及到的环境问题最重要的包含危险物质的使用与废物管理、废气排放、废水、能源使用以及一般工艺改造。

　　上述《EHS指南》显示，在抗干燥、显影和抗蚀作业中，大多数清洗和光刻工艺都可能释放出挥发性有机物。而通常情况下，挥发性有机物排放物可被活性炭系统吸附回收和/或通过热氧化剂处理。

　　德勤在一份报告中指出，半导体制作的完整过程中会产生大量的废气、废水和废料，因此，半导体企业应该通过优化生产的基本工艺和使用节能设备和工具，减少能源消耗和废弃物产生，以此来降低碳排放。

　　具体来看，目前，国内一些半导体设备公司已在环保合规及有害于人体健康的物质减排方面做出了自己的努力。

　　中微公司主要是做半导体设备的研发、生产和销售，通过向下游集成电路、LED外延片、先进封装、MEMS等半导体产品的制造公司销售刻蚀设备和MOCVD 设备、提供配件及服务实现收入和利润。

　　在废弃物管理与有害于人体健康的物质排放方面，具体到固体废弃物管理，中微公司表示主要对各类废弃物进行分类收集管理。对于生产和研发过程中产生的危险废物、普通工业固态废料委托具有处置资质的第三方进行合规处置，并进行全流程追踪；研发和生产的全部过程中使用的各类化学品，公司则从采购、运输、储存、使用、报废等各使用环节对化学品实施了全生命周期管理，实现全流程、全方位管控。据中微公司年报，报告期内的固废处理费用总计为 4.32 万元。

　　废气管理方面，公司表示，针对不同的废气源，充分识别各种废气特征污染物质，选择具有更高处理效率的废气处理设施，减少污染物质的排放。同时，通过定期环境监视测定、处理效果分析与应急处置等举措，有效对末端环境排放废气做全面管控，并实现达标排放。

　　其还通过子公司中微惠创进行环保设备研发，近年来，立足于行业发展需求，开发了工业用大型 VOC 进化设施、本地尾气处理设备（Local Scrubber）等环保设备， 被大范围的应用于国内半导体和集成电路、泛半导体、面板显示等行业生产制作的完整过程中产生的废弃净化处理，以改善洁净室的工作环境。

　　废危管理方面，2023 年中微公司产生危险废弃物产生量 23 吨，均已委托有相关处置资质的第三方合规处置。

　　此外，中微公司还对供应商的EHS管理状况做了评估，将相应的环保合规安排延伸到了产业链上游。据悉，中微公司根据《中微供应商 EHS 评估表》对 12 家重点供应商的 EHS 管理状况做线 家供应商现场评估，评估内容涉及环保、安全、职业健康、化学品管理、节能减排等方面，并在此基础上制定发布了《供应商 EHS 评估作业指导书》，协助供应商建立 EHS 评估计划、执行 EHS 评估、针对评审结果制定改进方案，帮助供应商从建立和完善自身的 EHS 管理体系，积极推动供应商主动承担企业社会责任。

　　另一半导体设备厂商盛美上海，亦对固体废弃物进行分类管理。而在废水管理方面，2023年年报显示，公司报告期内川沙地区回收水系统年度维护和耗材更换费用8万元，设备系统运行电费28万元。其称，公司在从事研发工作时，存在产生少量污染物的情形，产生的含氟、酸、碱等废水，统一收集后委托有资质的第三方公司外运处理。

　　废气处理方面，公司建有废气处理设施1套，用于处理公司研发实验室产生的废气（包含酸性废气、碱性废 气和有机废气），研发实验过程中产生的废气经密闭管道收集后由 EVO 干式气相化学过滤装置 进行统一处理，达标后排放，设计解决能力为 15000 立方米/小时。

　　总体而言，国内半导体设备厂商在精进技术和产品能力的同时，对环保合规及有害于人体健康的物质减排也已经做出了初步的探索和努力。中国大陆作为全球最大半导体消费市场，目前国产替代进入加速阶段，国内的半导体设备更是在全球市场中表现出了极大的发展的潜在能力，未来国内半导体厂商将面临更高的环保合规要求，生产的全部过程中会造成的环境和人体健康影响，应当引起更大的重视。

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